ATV公司于1972年成立于德國慕尼黑，業(yè)務(wù)專注于真空熱處理工藝設(shè)備，主要應(yīng)用在混合電路、半導(dǎo)體和表面貼裝領(lǐng)域。；理想的焊接系統(tǒng)，帶快速退火功能的焊接回流爐(SRO)，是一個多用途“冷壁”工藝焊爐。SRO是R&D，工藝研發(fā)，由低至高產(chǎn)能生產(chǎn)的理想選擇。全自動生產(chǎn)能力可有多種方式實現(xiàn)：與粘片機在線集成、與粘片機系統(tǒng)集成、盒對盒晶片傳送或帶機器人系統(tǒng)的襯底傳送. 應(yīng)用領(lǐng)域主要應(yīng)用領(lǐng)域為無缺陷焊接和無助焊劑焊接、IGBT封裝、焊膏工藝、管殼蓋板封裝、MEMS及真空封裝。

技術(shù)參數(shù)
–尺寸: 960x720x1340（長、寬、高）
–工作高度: 950 – 1050mm 可調(diào)
–重量: 240kg
–加熱區(qū)域尺寸: 313x240mm
–加熱原理: 紅外輻射
–加熱方式: 上、下雙層紅外燈管陣列排放, 石英管套在燈管外層起到保護作用
–加熱區(qū)域: 分6個區(qū)域由各自的PID控制
–腔體門手動開關(guān)；自動上鎖解鎖
–閉環(huán)式冷卻水循環(huán)系統(tǒng)
–功率: 19kW
–電源: 3 x 400VAC 50/60Hz; 32A
–加熱板上方空間高度: 100mm
–*高溫450°C
–均溫性: 加熱板面積的85%區(qū)域內(nèi) (加熱板邊緣往里15mm), 均溫性< +/-2-3% 
–氦漏率 < 5,0 x 10-9mbar x l/s
–直徑25mm前端可視窗
可選項
–真空
?<5 x 10-2mbar, 機械干泵
?<5 x 10-6mbar, 機械干泵/分子泵
–氣體分析
?殘余氣體分析
?O2 監(jiān)測
?濕氣 (水) 監(jiān)測